杂志简介
《微纳电子技术》于1964年创刊，主要刊登有关纳米器件与技术、纳米材料与纳料结构、MEMS器件与技术、显微、测量、微细加工技术与设备等，杂志与时俱进，开拓进取，保持优势，敢于争先，是一本公开发行的综合性月刊。
《微纳电子技术》致力于推动我国微米纳米技术的发展，大量报道了我国纳米电子学的基础性研究和MEMS领域的开发与应用，为全国从事微纳电子技术研究的人员搭建了一个良好的技术、信息交流平台，对我国纳米技术研究人员所做的早期研究工作和取得的成果做出了真实的、历史性的描述.
期刊须知
[1]论文所涉及的课题若取得国家或部、省级、校级以上基金资助或属攻关项目，请务必注明基金编号。
[2]同一页类列出多个注释的，应根据注释的先后顺序编排序号。注释序号以“①、②”等数字形式标示在被注释词条的右上角。页末或篇末注释条目的序号应按照“①、②”等数字形式与被注释词条保持一致。
[3]正文要求观点明确、立论新颖、论据可靠、语言规范通达，且未在国内外公开发表过。
[4]稿件应包括以下信息：文章标题、中文摘要。
[5]请提供作者姓名、性别、工作单位、职务职称、详细通讯地址（包括邮政编码）及联系电话。在校学生提供所在学校、院系、年级等信息。
期刊收录
数据分析
- 综合影响因子：0.45
- 期刊他引率：0.9041
- 被引半衰期：4.96
- 平均引文率：16.2222
立即指数
期刊他引率
名词释义：
立即指数：表征期刊即时反应速率的指标，即该期刊在评价当年刊载的论文，每篇被引用的平均次数。
期刊他引率：期刊被他刊引用的次数占该刊总被 引次数的比例用以测度某期刊学术交流的广度、专业面的宽窄以及学科的交叉程度。
影响因子：指该刊在某年被全部源刊物引证该刊前两年发表论文的次数，与该刊前两年所发表的全部源论文数之比。
影响因子
杂志发文量
主要发文机构分析
| 机构名称 | 发文量 | 主要研究主题 |
| 中国科学院 | 309 | 纳米；光刻；晶体管；MEMS；传感 |
| 中北大学 | 239 | MEMS；微电子；微电子机械；微电子机械系统；传感 |
| 中国电子科技集团第十三研究所 | 225 | 微电子；微电子机械；微电子机械系统；MEMS；激光 |
| 河北工业大学 | 183 | CMP；化学机械抛光；机械抛光；抛光液；去除速率 |
| 上海交通大学 | 147 | 纳米；微电子；微电子机械；微电子机械系统；MEMS |
| 太原理工大学 | 113 | 纳米；传感；感器；传感器；气敏 |
| 中国科学院微电子研究所 | 111 | 光刻；纳米；电子束光刻；金属；感器 |
| 清华大学 | 74 | 感器；传感；传感器；自旋；纳米 |
| 专用集成电路与系统国家重点实验室 | 60 | 隧穿；迁移率；共振隧穿；RTD；MEMS |
| 中国科学院大学 | 60 | 微电子；MEMS；微电子机械；微电子机械系统；纳米 |
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